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大口徑真空壓力調節(jié)器（真空背壓閥）：EVR系列

Eyoung Vacuum Regulator（EVR Series）

—— 負壓和正壓調節(jié)、口徑1/8"~4"、高速精密、手動或電子控制

一、簡介

EVR系列調節(jié)器是一種常閉調壓型真空壓力調節(jié)裝置，可直接對氣密性容器的真空壓力（負壓或正壓）進行高速調節(jié)，調節(jié)方式采用頂部氣控先導閥，先導閥可采用手動和電子控制形式。

EVR系列產品是專門為大口徑和快速控制等工業(yè)應用需求所設計的高速真空壓力調節(jié)器，如各種CVD、聚合物精密成型和精密真空蒸餾等工藝，是目前常用進口高速電動閥門（MKS、CDK和VAT等蝶閥）的國產化替代產品。

EVR系列產品可配各種手動和電子控制形式的先導閥，可形成開環(huán)和閉環(huán)控制回路。通過外接真空計并與依陽公司VPC2021系列真空壓力控制器相結合，可構成閉環(huán)形式快速高精度可編程真空控制回路。

二、技術指標和尺寸

三、特點

（1）大口徑和快速響應，可滿足真空工藝中對快速控制的要求。
（2）免拆裝式的閥芯更換方式，便于有污染真空工藝中EVR調節(jié)器的維護。
（3）整個 EVR系列調節(jié)器都可以采用同款小尺寸先導閥進行氣控驅動。
（4）可應用在高溫場合，先導閥可布置在較遠位置，耐溫只取決于密封材料。
（5）可應用在強腐蝕場合，甚至一些對FFKM有溶脹的場合（如二氧化碳和溴化鋰等）。
（6）通過連接真空源和壓力源以及快速切換，可進行負壓或正壓的單獨控制以及正負壓過程的連續(xù)控制。
（7）可進行防爆設計和操作，先導閥與EVR系列調節(jié)器可遠距離分離，避免先導閥的電磁干擾。

四、應用

（1）CVD工藝中MKS下游排氣高速節(jié)流閥的國產化替代方案及產品

（2）工業(yè)減壓蒸餾工藝中大流量耐腐蝕快響應精密真空控制的解決方案

（3）低壓與高壓（負壓與正壓）之間的真空壓力連續(xù)控制解決方案

（4）呼吸閥檢驗裝置中的正負壓連續(xù)精密控制解決方案

（5）快速響應的大口徑背壓閥在聚合物擠出機定徑箱真空度精密控制中的應用

（6）電氣比例閥作為先導閥結合真空背壓閥和外置傳感器實現(xiàn)低氣壓控制的考核試驗

（7）真空釬焊爐中大流量正負壓循環(huán)控制的解決方案

（8）溫度敏感材料干燥過程中的真空度精密控制解決方案

（9）工業(yè)應用中0.1%超高精度PID控制器的實現(xiàn)及其關鍵指標分析

（10）表壓0.1~0.6MPa范圍內0.1?%超高精度壓力控制解決方案及其考核試驗結果